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本实用新型公开了一种小功率集成微波微等离子体源，包括锁相环频率合成器；可调衰减器，与锁相环频率合成器连接；宽带功率放大器，与可调衰减器连接；环形器，与宽带功率放大器连接；平面微带渐变螺旋电感耦合线圈，与环行器连接。工作时小功率微波输入到平面...
该专利属于华东师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过华东师范大学授权不得商用。

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