【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种等离子体源阳极冷却结构,包括阳极本体(1),其特征在于:所述阳极本体(1)内部设置有冷却通道(2);所述阳极本体(1)上设置有进气口(3)和出气口(4);所述进气口(3)和出气口(4)分别与冷却通道(2)连通;所述冷却通道(2)上设置有冷却结构(21)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王鹏飞,黄佳华,王井楠,杨超,赵华,任琼英,李向阳,李露,
申请(专利权)人:成都真火科技有限公司,
类型:发明
国别省市:四川;51
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