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本发明公开了一种等离子体源阳极冷却结构，涉及等离子体源技术领域。本发明包括阳极本体（1），所述阳极本体（1）内部设置有冷却通道（2）；所述阳极本体（1）上设置有进气口（3）和出气口（4）；所述进气口（3）和出气口（4）分别与冷却通道（2）连...
该专利属于成都真火科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都真火科技有限公司授权不得商用。

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