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一种等离子体气相沉积用射频电源，包括一变压器，用于将一交流源电压变换成一交流输入电压；一激发单元，用于利用所述交流输入电压产生一正弦波电压；一放大单元，用于放大所述正弦波电压；一自动匹配单元，用于对所述正弦波电压进行负载阻抗匹配，包括：一匹...
该专利属于沙嫣;沙晓林所有，仅供学习研究参考，未经过沙嫣;沙晓林授权不得商用。

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