The utility model relates to a high-voltage plasma power supply, the high-voltage plasma power supply includes a three-phase half controlled rectifier circuit, delay starting circuit, filter circuit, storage circuit, LC series resonant full bridge circuit, a voltage doubler rectifier circuit, power control circuit, feedback control circuit, inverter circuit, IGBT bridge driving circuit, alarm circuit; the three-phase half controlled rectifier circuit is connected with the high-voltage transformer by full bridge circuit, LC series resonant circuit, the power regulating circuit and a feedback control circuit is connected with a feedback control circuit, the feedback control circuit through an inverter circuit with full bridge circuit.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种等离子体电源,具体涉及一种高压等离子体电源,属于等离子技术应用领域。
技术介绍
本技术所涉及的低温等离子体电源适用于DBD介质阻挡放电、线筒式电晕放电以及去除烟气颗粒的线筒式荷电放电。适用于工业废气处理的介质阻挡放电通道通常有平板式DBD通道,同轴圆管式DBD通道及圆管排列式DBD通道这三种结构形式,介质材料由陶瓷或石英材料制作,形状可以为片材或空心管,导电电极则为铝粉或镁粉填充物;适用于工业废气处理的线筒式电晕放电由同心的金属材料制成,其中高压电极可以为曲率半径较小的钼丝、金丝或合金丝,也可以为带有尖刺的金属棒,接地极是金属空心管。适用于工业废气处理中的线筒式荷电通道结构与线筒式电晕放电通道结构类似。高频高压电源使通道内的气体发生电离,激发出高能电子,高能电子和废气分子发生非弹性碰撞,当其能量大于废气分子的化学键能时使污染物分解,同时非弹性碰撞也产生大量正负离子、激发态离子和自由基,它们和废气分子进行反应也能够分解污染物。使用低温等离子体处理方法具有效率高,能耗低,使用范围广,操作简便等优点,因此,利用等离子体技术处理环境中有毒物质或难以降解物质,正从实验室走向市场,等离子技术将逐步发展成为一个新的高技术产业。目前,使用低温等离子体处理有毒物质或难以降解物质的技术还有待提高,等离子反应器(发生器)的选择,匹配和优化,反应机理等方面需要进一步研究。需要处理的气体种类,流量,浓度,温度等参数与电极结构,电源特性之间的关系共同决定了废气处理的效果。可见,反应器的结构,电源特性是低温等离子体技术的关键。国内已商品化生产的大功率等离子体放电电源,有 ...
【技术保护点】
一种高压等离子体电源,其特征在于,所述高压等离子体电源包括三相半控整流电路、延时启动电路,滤波储能电路、全桥电路、LC串联谐振电路、倍压整流电路、功率调节电路、反馈控制电路、变频电路、IGBT全桥驱动电路、报警电路,所述三相半控整流电路通过全桥电路、LC串联谐振电路连接高压变压器,所述反馈控制电路通过变频电路连接全桥驱动电路,所述三相半控整流电路由半控整流桥BR1,电阻R1~6,电容C11,C18~20,二极管D1及接插件H18连接至辅助电源共同完成,控制电源经插件H18连接R3,R6,C20控制L1相;控制电源经插件H18连接R1,R5,C19控制L2相;控制电源经插件H18连接R2,R4,C18控制L3相,二极管D1经接插件H18反向连接至辅助电源起保护作用;所述延时启动电路由二极管D2,D10,D11,电阻R11~14组成,延时启动由控制电源产生,通过接插件H18连接到R11~14,再通过D2,D10,D11连接到三相交流电源,所述滤波储能电路由电容C24~31,电阻R24,R26组成,电容C24,C26并联后连接C28与C30并联,电容C12并接电容C13滤出高频干扰,电阻R2 ...
【技术特征摘要】
1.一种高压等离子体电源,其特征在于,所述高压等离子体电源包括三相半控整流电路、延时启动电路,滤波储能电路、全桥电路、LC串联谐振电路、倍压整流电路、功率调节电路、反馈控制电路、变频电路、IGBT全桥驱动电路、报警电路,所述三相半控整流电路通过全桥电路、LC串联谐振电路连接高压变压器,所述反馈控制电路通过变频电路连接全桥驱动电路,所述三相半控整流电路由半控整流桥BR1,电阻R1~6,电容C11,C18~20,二极管D1及接插件H18连接至辅助电源共同完成,控制电源经插件H18连接R3,R6,C20控制L1相;控制电源经插件H18连接R1,R5,C19控制L2相;控制电源经插件H18连接R2,R4,C18控制L3相,二极管D1经接插件H18反向连接至辅助电源起保护作用;所述延时启动电路由二极管D2,D10,D11,电阻R11~14组成,延时启动由控制电源产生,通过接插件H18连接到R11~14,再通过D2,D10,D11连接到三相交流电源,所述滤波储能电路由电容C24~31,电阻R24,R26组成,电容C24,C26并联后连接C28与C30并联,电容C12并接电容C13滤出高频干扰,电阻R24连接R26为储能电容提供能量卸放回路,电阻R24,R26为储能电容提供能量卸放回路,所述全桥电路由两个IGBT0模块Q19,Q20组成全桥电路,瞬态吸收二极管Z3~Z6和电容C16,C17,C22,C23组成IGBT模块保护电路;电阻R30,R15,R113,R20,R32,R8,R114,R17为栅极串联电阻,电阻R10,R19,R16,R22为栅极并联电阻,所述栅极串联电阻和栅极并联电阻为IGBT驱动电路的一部分,为减小开关时间和损耗,设计时尽量靠近IGBT模块,电阻R15,R16,R30连接瞬态吸收二极管Z4组成Q20栅极驱动G1,电阻R113,R20,R22连接瞬态吸收二极管Z6组成Q20栅极驱动G2,电阻R32,R8,R10连接瞬态吸收二极管Z3组成Q19栅极驱动G3,电阻R114,R17,R19连接瞬态吸收二极管Z5组成Q19栅极驱动G4;C16,C22连接Q20的漏源极,C17,C23连接Q19的漏源极组成IGBT模块漏源保护电路。2.根据权利要求1所述的高压等离子体电源,其特征在于,所述LC串联谐振电路由L1,C1~5以及高压变压器T1漏感组成,升压变压器T1的初级经谐振电感L1串联连接到谐振电容C1~C5,电容C1~C5连接到全桥臂功率模块Q20。3.根据权利要求2所述的高压等离子体电源,其特征在于,所述倍压整流电路由高压电容CH1,CH2,高压硅堆DH1组成,升压变压器T1的次级经高压电容CH1,CH2串联后连接到高压硅堆DH1,采用...
【专利技术属性】
技术研发人员:戴斌,王贤斌,陶忠元,
申请(专利权)人:南京威登等离子科技设备有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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