The utility model discloses an electron cyclotron anode high-voltage power supply module, which comprises a shell, one side of the shell is provided with a power interface, the electric interface is arranged on one side of the isolation transformer, the transformer is electrically connected with the high voltage DC power supply, the high voltage DC power supply side is electrically connected with the pulse switch, the pulse switch electrically connected with the central processor, the central processor is provided with one side of the modulator, the modulator is electrically connected with the high voltage DC power supply, the modulator, the other end is electrically connected to the high voltage output end, and one side of the modulator with high voltage modulator, the high-voltage modulator and the modulator are electrically connected, and the one side of the high voltage modulator is electrically connected with the high voltage output end, the utility model uses the isolation transformer and the high voltage modulator power stability control The input voltage of the source module ensures that the power supply module provides the high voltage stable DC electric signal for the electronic cyclotron device.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种等离子体加热
,特别涉及一种电子回旋阳极高压电源功率模块。
技术介绍
在等离子体技术发展中,直流电在射频等离子体应用工艺中发挥了十分重要的作用,直流带等离子体为有极放点,运行气压高且密度低,电离率和粒子活性低,虽然射频放电提高了等离子体密度,也可以实现无极放电,但运行气压较高,密度、电离率、粒子活性仍然较低,因此对等离子体的放点电压要求较高,传统的市电为交流电供用户使用,相关技术中的等离子体防电电源为直流电,在交流电与直流电的转换过程中存在转换效率低,且输出端电压较低的问题,为了满足科研技术和生产中的高压等离子加热放电技术的需求,研制一种电子回旋阳极高压电源功率模块成了该领域急需解决的问题。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种电子回旋阳极高压电源功率模块。本技术通过以下技术方案来实现上述目的,一种电子回旋阳极高压电源功率模块,包括壳体,所述壳体一侧设有市电接口,所述市电接口一侧设有隔离变压器,所述隔离变压器电性连接高压直流电源,所述高压直流电源一侧电性连接脉冲开关,所述脉冲开关电性连接中央处理器,所述中央处理器一侧设有调制器,所述调制器一端电性连接所述高压直流电源,所述调制器另一端电性连接高压输出端,且所述调制器一侧设有高压调制器,所述高压调制器与所述调制器电性连接,且所述高压调制器的一侧电性连接所述高压输出端。优选地,所述高压调制器中设有四极管。优选地,所述调制器与所述高压调制器并联。优选地,所述高压输出端一侧设有输出接口,所述输出接口与所述高压输出端之间设有测量保护装置。本技术的有益效果是:本技术通过在所述市电接口 ...
【技术保护点】
一种电子回旋阳极高压电源功率模块,包括壳体(1),其特征在于:所述壳体(1)一侧设有市电接口(2),所述市电接口(2)一侧设有隔离变压器(3),所述隔离变压器(3)电性连接高压直流电源(4),所述高压直流电源(4)一侧电性连接脉冲开关(5),所述脉冲开关(5)电性连接中央处理器(6),所述中央处理器(6)一侧设有调制器(7),所述调制器(7)一端电性连接所述高压直流电源(4),所述调制器(7)另一端电性连接高压输出端(9),且所述调制器(7)一侧设有高压调制器(8),所述高压调制器(8)与所述调制器(7)电性连接,且所述高压调制器(8)的一侧电性连接所述高压输出端(9)。
【技术特征摘要】
1.一种电子回旋阳极高压电源功率模块,包括壳体(1),其特征在于:所述壳体(1)一侧设有市电接口(2),所述市电接口(2)一侧设有隔离变压器(3),所述隔离变压器(3)电性连接高压直流电源(4),所述高压直流电源(4)一侧电性连接脉冲开关(5),所述脉冲开关(5)电性连接中央处理器(6),所述中央处理器(6)一侧设有调制器(7),所述调制器(7)一端电性连接所述高压直流电源(4),所述调制器(7)另一端电性连接高压输出端(9),且所述调制器(7)一侧设有高压调制器(8),所述高压调制器(8...
【专利技术属性】
技术研发人员:蔡鑫,崔方泰,袁彪,董盛喜,楚航,朱文祥,
申请(专利权)人:武汉胜为恒电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:湖北;42
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