【技术实现步骤摘要】
本专利技术半导体设备制造领域，具体地来讲为一种射频等离子体设备匹配器。
技术介绍
半导体设备在13.56MHz频率下，负载线圈和等离子体的阻抗一般很小，射频电源的输出阻抗和传输线的特征阻抗均为50 Ω，此时负载阻抗和传输线的特征阻抗不匹配，需要匹配器进行调节，现有匹配器8路每一路都是由I个电容和I个电感组成，为了使8路达到一致，每一路需要独立调解，所以调节过程比较麻烦费时，而且每一路的一致性也不容易保证。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种简化电路，调节更容易，减少可变环节的射频等离子体设备匹配器。本专利技术是这样实现的，一种射频等离子体设备匹配器，该匹配器与射频电源的滤波电路输出端连接，包括一固定不可调的电感与可调电容并联形成匹配网络电路，匹配网络电路的一端与射频电源连接作为输入端，另一端通过具有一公共点的多个铜带分别连接在所用于的等离子体设备的喷淋板，将高频加载在喷淋板上，通过调节可调电容实现负载阻抗和传输线的特征阻抗的匹配。作为本专利技术进一步改进，可调电容采用可变真空电容。作为本专利技术进一步改进，电感由铜管绕制而成，在电感绕...
【技术保护点】
一种射频等离子体设备匹配器，该匹配器与射频电源的滤波电路输出端连接，其特征在于，包括一固定不可调的电感与可调电容并联形成匹配网络电路，匹配网络电路的一端与射频电源连接作为输入端，另一端通过具有一公共点的多个铜带分别连接在所用于的等离子体设备的喷淋板，将高频加载在喷淋板上，通过调节可调电容实现负载阻抗和传输线的特征阻抗的匹配。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吕欣，周仁，刘忠武，
申请(专利权)人：沈阳拓荆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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