【技术实现步骤摘要】
射频等离子体源
本技术属于电子仪器设备领域，特别涉及到一种射频等离子体源。
技术介绍
现在市场销售的射频等离子体应用设备。其设备中等离子体的产生是不尽相同的，目前普遍采用射频电源和射频匹配器组合产生等离子体。而射频电源和射频自动匹配器都是独立的两个产品，系统的相互连接不仅占据着较大的空间体积，而且这种连接比较复杂和考究。需要有射频经验的工程师进行安装和调试。本技术将射频电源和射频自动匹配器等功能创造性地集成在一体，简化外部的连接和调试过程，使这种设备直接成为驱动等离子，产生等离子体的电源，成为体积小、连接线少、能独立应用的射频等离子体源。通过特殊的射频隔离设计实现射频电源和匹配器互相不干扰，从而将两个单独的机箱合成到一个机箱中，减小了射频系统的体积，约减少了 40%体积。在小型射频等离子设备中可以节约射频部分的体积和简化射频系统设计，因而节约射频部分成本。
技术实现思路
本技术需要解决的技术问题是，为了有效简化外部连接和调试过程，需要将射频电源和射频自动匹配器集成为一体，减少设备的体积和连接线。本技术的目的在于提供一种射频等离子体源。在描述本技术方案之前，先介绍本设备工作原理。将220V市电经开关输入到直流电源，转换为直流48V，24V，15V，5V等电压。这些电压分别输入到主板，电源控制和功率控制板及匹配器计算板，作为电源供给。主板负责处理射频电源和匹配器的数据，把电源的状态，入射功率，反射功率及匹配器的工作数据显示到液晶显示屏上。用户可以通过控制电源的按键对功率调节，射频开关及参数设定等对等离子源进行操作和设定。通过匹配器按键对匹配器电容进行调...
【技术保护点】
一种射频等离子体源，包括设备机箱，机箱前部的面板上布有开关、液晶显示屏，以及参数设定与功率调节按键，其特征在于，机箱内部设有电子线路板，该线路板上包含有处理射频电源和匹配器数据并显示到液晶屏上的主板部分；它连接到电源控制和功率控制的电路部分，再连接到匹配器计算部分。
【技术特征摘要】
1.一种射频等离子体源，包括设备机箱，机箱前部的面板上布有开关、液晶显示屏，以及参数设定与功率调节按键，其特征在于，机箱内部设有电子线路板，该线路板上包含有处理射频电源和匹配器数据并显示到液晶屏上的主板部分；它连接到电源控制和功率控制的电路部分，再连接到匹配器计算部分。2.根据权利要求1所述射频等离子体源，其特征在于，所述主板负责处理射频电源和匹配器的数据，把电源的状态，入射功率，反射功率及匹配器的工作数据显示到液晶显示屏上。3.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：李树瑜，
申请(专利权)人：北京吉兆源科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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