电容-电压测试预处理的方法技术

技术编号:9336738 阅读:143 留言:0更新日期:2013-11-13 17:27
本发明专利技术提供一种电容-电压测试预处理的方法,包括如下步骤:提供一待测试片;将所述待测试片置于臭氧环境中进行预处理,以形成一氧化层。本发明专利技术的优点在于,采用臭氧处理测试片表面后,大大简化了处理的流程,缩短了预处理的时间,仅占现有预处理方法20%左右的预处理时间。并且由于不使用化学药剂,具有处理更加高效、更加环保、更加安全、更加节约成本、且测试重复性好等优点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电容?电压测试预处理的方法,其特征在于,包括如下步骤:?提供一待测试片;?将所述待测试片置于臭氧环境中进行预处理,以形成一氧化层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈斌张斌向环宇
申请(专利权)人:上海新傲科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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