一种立式晶圆形状测量仪制造技术

一种立式晶圆形状测量仪，包括调整垫脚；底座，所述的底座设在调整垫脚上；平台，所述的平台设在底座上；支撑座，所述的支撑座设在平台上；横梁，所述的横梁设在支撑座上；轴系，所述的轴系包括X轴、Y轴、Z轴和旋转轴；所述的X轴设在横梁上；所述的Y轴设在平台上，与X轴相互垂直；所述的Z轴固定在X轴动板上、与X轴运动方向相互垂直，且其运动方向垂直于测量平台；所述的旋转轴固定在Y轴动板上；晶圆承载台，所述的晶圆承载台固定在旋转轴上；接触式测头，所述的接触式测头固定在Z轴动板上。本发明专利技术采用独特的接触式测头和固定横梁式布局方式，采用精密伺服控制的直线轴和旋转轴，实现晶圆平面度和厚度等形状参数自动测量。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种立式晶圆形状测量仪，其特征在于，包括：调整垫脚；底座，所述的底座设在调整垫脚上；平台，所述的平台设在底座上；支撑座，所述的支撑座设在平台上；横梁，所述的横梁设在支撑座上；轴系，所述的轴系包括X轴、Y轴、Z轴和旋转轴；所述的X轴设在横梁上；所述的Y轴设在平台上，与X轴相互垂直；所述的Z轴固定在X轴动板上、与X轴运动方向相互垂直，且其运动方向垂直于测量平台；所述的旋转轴固定在Y轴动板上；晶圆承载台，所述的晶圆承载台固定在旋转轴上；接触式测头，所述的接触式测头固定在Z轴动板上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：夏发平，
申请(专利权)人：昆山允可精密工业技术有限公司，
类型：发明
国别省市：