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一种立式晶圆形状测量仪，包括调整垫脚；底座，所述的底座设在调整垫脚上；平台，所述的平台设在底座上；支撑座，所述的支撑座设在平台上；横梁，所述的横梁设在支撑座上；轴系，所述的轴系包括X轴、Y轴、Z轴和旋转轴；所述的X轴设在横梁上；所述的Y轴设...
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