【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种氮化硅坩埚的制备方法，包括以下步骤：a)将由氮化硅粉和助烧剂组成的混合粉体进行造粒、成型，得到坩埚生胚；b)将由二氧化硅粉和无水乙醇组成的浆料喷涂于所述步骤a)得到的坩埚生胚的内壁和外壁，干燥后得到内壁和外壁均喷涂有二氧化硅涂层的坩埚生胚；c)将所述步骤b)得到的坩埚生胚进行气压烧结，得到坩埚熟坯；d)将所述步骤c)得到的坩埚熟坯的内壁的二氧化硅涂层去除，得到氮化硅坩埚。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郑志东，王先进，尹慧，
申请(专利权)人：浙江昱辉阳光能源有限公司，
类型：发明
国别省市：
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