下载一种氮化硅坩埚及其制备方法的技术资料

文档序号:9270643

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本发明提供了一种氮化硅坩埚的制备方法,包括以下步骤:将由氮化硅粉和助烧剂组成的混合粉体进行造粒、成型,得到坩埚生胚;将由二氧化硅粉和无水乙醇组成的浆料喷涂于坩埚生胚的内壁和外壁,干燥后得到内壁和外壁均喷涂有二氧化硅涂层的坩埚生胚;将喷涂有二...
该专利属于浙江昱辉阳光能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江昱辉阳光能源有限公司授权不得商用。

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