铁氧体薄膜形成用组合物和铁氧体薄膜及其形成方法技术

本发明专利技术的课题在于提供一种铁氧体薄膜形成用组合物和利用该组合物的铁氧体薄膜的形成方法及以该方法形成的铁氧体薄膜，所述铁氧体薄膜为用于通过溶胶-凝胶法形成铁氧体薄膜的组合物，其能够形成较薄且均匀的膜厚的铁氧体薄膜，且长期保存稳定性优异。该铁氧体薄膜形成用组合物，其为用于通过溶胶-凝胶法形成NiZn铁氧体、CuZn铁氧体、NiCuZn铁氧体薄膜的组合物，上述组合物通过将金属原料溶解于包含乙腈的溶剂而成，将上述组合物设为100质量%时的乙腈的比例为30～60质量%。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种铁氧体薄膜形成用组合物，为通过溶胶?凝胶法形成了组成以(Ni1?xZnxO)t(Fe2O3)s、(Cu1?xZnxO)t(Fe2O3)s或(Ni0.80?yCu0.20ZnyO)t(Fe2O3)s表示的铁氧体薄膜的组合物，其中，所述组合物通过将金属原料溶解于包含乙腈的溶剂而成，将所述组合物设为100质量%时的所述乙腈的比例为30～60质量%，其中，所述x满足0＜x＜1，所述y满足0＜y＜0.80，所述s、t分别满足0.95≤s≤1.05、0.95≤t≤1.05，并且满足s+t=2。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：土井利浩，樱井英章，中村贤蔵，五十岚和则，曽山信幸，
申请(专利权)人：三菱综合材料株式会社，
类型：发明
国别省市：