磁控溅射门防下垂装置制造方法及图纸

技术编号:9236304 阅读:158 留言:0更新日期:2013-10-09 23:44
本发明专利技术提供了一种磁控溅射门防下垂装置,该防下垂装置为支撑块,支撑块内部开有台阶孔,其中右侧孔的直径大于左侧孔的直径,支撑块上端面靠右侧有一段斜面,所述斜面向右下角倾斜,倾斜角度为8~15度。使用时,将本装置用螺栓固定在磁控溅射室的墙体上,关闭磁控溅射门时,门下端沿斜面向上移动,从而使门恢复到原始位置,达到密封效果。本装置结构简单,使用方便,利用支撑块和螺栓共同支撑磁控溅射门,有效防止磁控溅射门下垂,从而保证门关上后磁控溅射室的密封度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
磁控溅射门防下垂装置,其特征在于:该防下垂装置为支撑块,所述支撑块内部开有台阶孔,其中右侧孔的直径大于左侧孔的直径,支撑块上端面靠右侧有一段斜面,所述斜面向右下角倾斜,倾斜角度为8~15度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:章新良
申请(专利权)人:蚌埠雷诺真空技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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