【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】 【技术特征摘要】
一种制备MgxZn1?xO合金薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：1）向经过清洗和预处理的玻璃基底上溅射沉积并生长氧化锌缓冲层，其中所用的溅射靶材为Zn靶，在Ar保护下进行溅射沉积，并通入O2作为反应气体；2）利用双靶溅射仪在氧化锌缓冲层上溅射沉积并生长MgxZn1?xO层，然后退火，得到MgxZn1?xO合金薄膜，其中0
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