掺杂氧化锌透明薄膜及其制备方法技术

技术编号:9166872 阅读:143 留言:0更新日期:2013-09-19 15:47
一种氧化锌基掺杂元素透明导电薄膜,包括玻璃衬底层和表面具有微孔结构的氧化锌基掺杂元素膜层。是将掺杂元素和氧化锌混合、烘干、研磨,得前驱掺杂粉体,经混合、烧结制成掺杂元素氧化锌基靶材,再以玻璃为衬底层,采用磁控溅射法,真空抽气至0.6-3.0×10-4Pa,溅射气体为氩气、氧气、氢气、惰性气体或它们的混合气体;温度为室温至500℃,工作压力为0.06-3.0Pa,直流溅射功率为10-120W,沉积时间为3-60min;基材衬底距离为5-40nm,膜厚为100-2000nm。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种氧化锌基掺杂元素透明导电薄膜,其特征在于包括玻璃衬底层和表面具有微孔结构的氧化锌基掺杂元素膜层;所述掺杂元素为单质元素、氧化物、氢氧化物。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:谈一波吴雪飞黄琦凯
申请(专利权)人:江苏新源动力有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1