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本发明提供了一种制备MgxZn1-xO合金薄膜的方法，向经清洗和预处理的玻璃基底上溅射沉积并生长氧化锌缓冲层，其中所用的溅射靶材为Zn靶，并通入Ar和O2；再利用双靶溅射仪在氧化锌缓冲层上溅射沉积并生长MgxZn1-xO层，退火，得MgxZ...
该专利属于彩虹集团公司所有，仅供学习研究参考，未经过彩虹集团公司授权不得商用。

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