基于微切削的LED表面强化出光结构的制作方法及多齿刀具技术

技术编号:9199484 阅读:210 留言:0更新日期:2013-09-26 03:26
本发明专利技术公开了一种基于微切削的LED表面强化出光结构的制作方法及多齿刀具,制作方法包括下述步骤:步骤1:取一已剥离转移衬底的倒装LED芯片,所述倒装LED芯片,从下至上分别为衬底、p型半导体层、有源层和n型半导体层;步骤2:利用多齿刀具在n型半导体层表面微切削形成微沟槽强化出光结构;步骤3:将LED芯片旋转一定角度,利用多齿刀具在n型半导体层表面再次切削,形成锥状强化出光微结构;多齿刀具具有多个使用聚焦等离子束加工而成的刀齿,且每个刀齿具有相同的前角、后角和切削角。本发明专利技术工艺更加简单,且加工表面微结构密度和形状可控,在同等工艺操作的情况下,更有利于提高发光二极管的出光效率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于微切削的LED表面强化出光结构的制作方法,其特征在于,包括下述步骤:步骤1:取一已剥离转移衬底的倒装LED芯片,所述倒装LED芯片,从下至上分别为衬底、p型半导体层、有源层和n型半导体层;步骤2:利用多齿刀具在n型半导体层表面微切削形成微沟槽强化出光结构;步骤3:将LED芯片旋转一定角度,利用多齿刀具在n型半导体层表面再次切削,形成锥状强化出光微结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:汤勇万珍平陆龙生袁伟袁冬夏宏荣李宗涛
申请(专利权)人:华南理工大学
类型:发明
国别省市:

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