【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种晶体装置的制造方法,使用多个矩形状的基底板与沿所述基底板的X轴方向形成有至少1对贯穿孔的AT切割的基底晶片,来制造具有晶体振动片及所述基底板的晶体装置,所述晶体装置的制造方法的特征在于包括:耐蚀膜形成工序,在所述基底晶片的第1面与所述第1面的相反侧的第2面上形成耐蚀膜;曝光工序,于所述耐蚀膜上形成光致抗蚀剂,对与所述贯穿孔对应的位置的所述第1面及所述第2面的所述光致抗蚀剂进行曝光;耐蚀膜蚀刻工序,对所述第1面及所述第2面的与所述贯穿孔对应的所述耐蚀膜进行蚀刻;以及湿式蚀刻工序,在所述耐蚀膜蚀刻工序后,从所述第1面及第2面对所述一对贯穿孔进行湿式蚀刻,通过所述湿式蚀刻而形成的、连结所述第1面与所述第2面的所述贯穿孔的+X轴侧的剖面具有:从所述第1面形成至剖面中央侧的第1斜面、从所述第2面形成至所述剖面中央侧的第2斜面、以及所述第1斜面与所述第2斜面交叉的第1顶部,?X轴侧的剖面具有:从所述第1面形成至剖面中央侧的第3斜面、从所述第2面形成至所述剖面中央侧的第4斜面、以及连结所述第3斜面与所述第4斜面的第2顶部,所述曝光工序中,以从所述基底板的X轴方向的中心直至所述第1顶部为止的距离、 ...
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:水泽周一,高桥岳宽,
申请(专利权)人:日本电波工业株式会社,
类型:发明
国别省市:
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