【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种具有电极过渡层的LED芯片的制造方法,其特征在于,所述具有电极过渡层的LED芯片的制造方法至少包括以下步骤:1)提供一基板,所述基板自下而上依次包括衬底、N型半导体层、发光层及P型半导体层;2)对所述基板进行部分刻蚀,在所述基板中形成一凹陷区域,所述凹陷区域底部到达所述N型半导体层中;3)采用溅射法在所述P型半导体层上形成一ITO透明导电层;然后在所述ITO透明导电层上部分区域形成电极过渡层;所述电极过渡层底部材料为Cr;4)进行退火以使所述电极过渡层底部的Cr与ITO透明导电层中的O结合形成氧化物;5)在所述电极过渡层上形成P电极,在所述凹陷区域的N型半导体层上部分区域形成N电极。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:袁根如,郝茂盛,陶淳,朱秀山,朱广敏,陈诚,张楠,杨杰,
申请(专利权)人:上海蓝光科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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