五自由度五轴结构解耦并联微动机器人制造技术

一种五自由度五轴结构解耦并联微动机器人，主要特征是运动工作台通过五支连杆与固定台相连接，五支连杆与运动工作台连接是弹性铰链，五支连杆通过弹性铰链与固定台的弹性移动副连接，每个弹性移动副连接着一个微位移驱动器。本发明专利技术微动机器人运动解耦、结构简单紧凑，能实现无摩擦、无间隙和高分辨率的解耦五维微动。可广泛用于微动工作台和精细操作或加工中。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于先进制造
，特别涉及一种五自由度五轴结构解耦并联微动机器人。实现精细操作的微动机器人正随着微米/纳米工程的深入而受到人们日益关注，利用柔性(或称弹性)铰链替代实际运动副使得并联结构微动机器人不仅消除了常规运动副所具有的间隙、摩擦、空回现象，而且充分发挥出并联机构高刚度、高精度等固有的品质特性。六十年代初期，Ellis提出用并联机构作为微动操作机械手，并应用于生物技术和显微外科中。为了提高精度，Magnani和Pernette研究了转动副、移动副、虎克铰和球铰的弹性结构形式(即柔性铰链)。Stoughton和Tanikawa用两个六自由度并联机构实现筷子操作运动；Hara和Hemini研究平面三自由度和六自由度微动机器人；Hudgens和Tesar研究的六自由度并联微操作器；Lee提出空间三自由度微动机器人结构；Parikian研究用Delta并联机构作为空间纯移动微动机器人的方案。在国内，清华大学研制了微动工作台；《仪器仪表学报》NO.1，1996报道，哈尔滨工业大学研制了Stewart平台结构六自由度并联微动机器人；在申请号为99119320.2、9910本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种五自由度五轴结构解耦并联微动机器人，包括固定台、运动工作台、连接固定台与运动工作台的连杆，其特征在于：运动工作台通过五支连杆与固定台连接，五支连杆与运动工作台三个互相垂直平面的连接是弹性铰链，五支连杆通过弹性铰链与固定台的三个互相垂直平面上的弹性移动副连接，每个弹性移动副连接着一个微位移驱动器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：高峰，刘辛军，
申请(专利权)人：河北工业大学，
类型：发明
国别省市：12[中国|天津]