【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
对称移焦式轴向高分辨共焦显微成像装置，其特征在于:包括照明光路和探测光路，所述的照明光路沿光束传播方向依次设置激光器(1)、准直镜组(2)、偏振分光镜(3)、1/4λ波片(4)、聚焦显微物镜(5)和样品(6);激光器(1)发出的光束经准直镜组(2)准直后，平行穿过偏振分光镜(3)和1/4λ波片(4)，由聚焦显微物镜(5)会聚到被测物体(6)上;所述的探测光路包括1:1普通分光镜(10)，第一路位相滤波器(15)，第一路收集透镜(7)，第一路针孔(8)，第一路光强转换器(9)，第二路位相滤波器(14)，第二路收集透镜(11)，第二路针孔(12)，第二路光强转换器(13);从被测物体(6)反射的光束，先后经过聚焦显微物镜(5)和1/4λ波片(4)，并由偏振分光镜(3)反射到1:1普通分光镜(10)，被1:1普通分光镜(10)反射的光束依次经过第一路位相滤波器(15)，第一路收集透镜(7)和第一路针孔(8)由第一路光强转换器(9)接收;所述的第一路针孔(8)位于第一移焦面，第一移焦面处于未加第一路位相滤波器(15)时的焦面后方位置;经1:1普通分光镜(10)透射的光束依次经过第二路位相滤波器...
【技术特征摘要】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。