【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种，属于光学干涉检测
技术介绍
干涉显微将干涉技术和显微放大技术相结合，可精确地分析物体的三维形貌和相位型物体的位相信息，具有分辨率高、测量速度快等传统干涉技术和显微技术不可替代的优势，是一种比较理想的微小物体三维形貌和位相分布测量的方法。2006年，瑞士 Lyncee Tec公司首次推出DHM-1000数字全息显微镜，可用于测量微小物体的三维形貌和位相分布。但因为采用离轴全息光路而不能充分利用图像传感器CCD分辨率和空间带宽积；同时不能在光路中消除物镜引起的相位畸变，为相位重构带来困难，并引起重构误差；因为采用分离光路干涉，即物光和参考光通过不同路径进行干涉，易受外界振动、温度起伏等影响，降低了实验的可重复性。中国专利《基于衍射光栅的物参共路相移数字全息显微装置》，公开号为CN102147233A，公开日为20110810，利用光栅衍射和针孔滤波构建了物参共路的干涉显微装置，降低了环境振动对干涉成像的影响，提高了成像的纵向分辨率，但是该方法需通过移动光栅获得相移，不仅调控困难，而且振动等干扰会给不同时刻采集的干涉图样引入相位误差，同时...
【技术保护点】
一种基于正交双光栅的同步移相共光路干涉显微检测装置，它包括光源(1)，其特征在于：它还包括线偏振片(2)、准直扩束系统(3)、第一分光棱镜(4)、第二分光棱镜(5)、第一λ/4波片(6)、校正物镜(7)、显微物镜(8)、待测物体(9)、第二λ/4波片(10)、第三λ/4波片(11)、矩形窗口(12)、第一傅里叶透镜(13)、一维周期幅度光栅(14)、一维周期相位光栅(15)、第二傅里叶透镜(16)、四象限偏振片组(17)、图像传感器(18)和计算机(19)，其中λ为光源(1)发射光束的光波长，一维周期幅度光栅(14)和一维周期相位光栅(15)组成双光栅，一维周期幅度光栅(1...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：单明广，钟志，郝本功，刁鸣，张雅彬，窦峥，
申请(专利权)人：哈尔滨工程大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。