一种基于折返式的大口径长工作距自准直显微监测仪制造技术

一种基于折返式的大口径长工作距自准直显微监测仪，涉及一种大口径长工作距自准直显微监测仪。它是为了解决现有的显微测量仪的测量距离短、监测系统的显微分辨率较低、监测视场较窄的问题。光源出射的光经分划板、二号分光镜、二号反射镜、一号分光镜后入射至待测目标，经待测目标反射后的光束沿原光路返回，返回光路在分光镜出分出透射光并入射至准直CCD；经待测目标反射后光束还先后经过一号发射镜、主物镜后由一号分光镜分成反射光和透射光，透射光入射至小视场CCD；反射光先后经一号次物镜、三号反射镜、二号次物镜和大视场CCD后入射至大视场CCD。本发明专利技术适用于显微监测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ー种大ロ径长工作距自准直显微监测仪。
技术介绍
专利号为ZL200710071972X、公开号为CN101033940的《用于空间物体三维检测与定位的光电式自准直显微测量仪》公开了ー种显微测量仪，但是这种显微测量仪的测量距离较短，监测系统的显微分辨率较低、监测视场较窄。
技术实现思路
本专利技术是为了解决现有的显微测量仪的测量距离短、监测系统的显微分辨率较 低、监测视场较窄的问题，从而提供ー种ー种基于折返式的大口径长工作距自准直显微监测仪。一种基于折返式的大口径长工作距自准直显微监测仪，它包括一号反射镜、主物镜、一号分光镜、小视场CCD、二号反射镜、准直物镜、二号分光镜、准直CCD、分划板、光源、一号次物镜、三号反射镜、二号次物镜和大视场CCD ;所述一号反射镜的中心刻有“十”字线，该“十”字线区域可透射光；光源发出的光入射至分划板，经分划板透射后入射至二号分光镜，经所述二号分光镜反射至准直物镜，经所述准直物镜透射后入射至二号反射镜，经所述二号反射镜反射至一号反射镜，经一号反射镜反射至待测目标，经待测目标反射后形成反射光，所述反射光入射至一号反射镜，经所述一号反射镜分为一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于折返式的大口径长工作距自准直显微监测仪，其特征是：它包括一号反射镜（1？2）、主物镜（1？3）、一号分光镜（1？4）、小视场CCD（1？5）、二号反射镜（1？6）、准直物镜（1？7）、二号分光镜（1？8）、准直CCD（1？9）、分划板（1？10）、光源（1？11）、一号次物镜（1？12）、三号反射镜（1？13）、二号次物镜（1？14）和大视场CCD（1？15）；所述一号反射镜（1？2）的中心刻有“十”字线，该“十”字线区域可透射光；光源（1？11）发出的光入射至分划板（1？10），经分划板（1？10）透射后入射至二号分光镜（1？8），经所述二号分光镜（1？8）反射至准直物镜（1？7），...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘炳国，刘国栋，陈凤东，庄志涛，浦昭邦，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：