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一种基于折返式的大口径长工作距自准直显微监测仪制造技术
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下载一种基于折返式的大口径长工作距自准直显微监测仪的技术资料
文档序号:8104306
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一种基于折返式的大口径长工作距自准直显微监测仪,涉及一种大口径长工作距自准直显微监测仪。它是为了解决现有的显微测量仪的测量距离短、监测系统的显微分辨率较低、监测视场较窄的问题。光源出射的光经分划板、二号分光镜、二号反射镜、一号分光镜后入射至...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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