分光同步移相共光路干涉显微检测装置及检测方法制造方法及图纸

技术编号:8240704 阅读:253 留言:0更新日期:2013-01-24 21:03
分光同步移相共光路干涉显微检测装置及检测方法,属于光学干涉检测领域,本发明专利技术为解决现有光学相移干涉检测方法操作复杂困难、测量精度低的问题。本发明专利技术方案:光源发射的光束经偏振片后入射至准直扩束系统的光接收面,经准直扩束系统准直扩束后的出射光束入射至第一分光棱镜,第一分光棱镜的反射光束作为参考光束经第二λ/4波片入射至矩形窗口;并排汇合于矩形窗口的参考光束和物光束再依次通过第一傅里叶透镜、一维周期光栅、第二傅里叶透镜、消偏振分光棱镜和四象限偏振片组,四象限偏振片组出射的偏振光束在图像传感器平面上产生干涉图样,计算机将采集获得的干涉图样进行处理,获得待测物体的相位分布。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及,属于光学干涉检测领域。
技术介绍
干涉显微将干涉技术和显微放大技术相结合,可精确地分析物体的三维形貌和相位型物体的位相信息,具有分辨力高、测量速度快等传统干涉技术和显微技术不可替代的优势,是一种比较理想的微小物体三维形貌和位相分布测量的方法。2006年,瑞士 Lyncee Tec公司首次推出DHM-1000数字全息显微镜,可用于测量微小物体的三维形貌和位相分布。但因为采用离轴全息光路而不能充分利用CCD分辨率和空间带宽积;同时不能在光路中消除物镜引起的相位畸变,为相位重构带来困难,并引起重构误差;因为采用分离光路干涉,即物光和参考光通过不同路径进行干涉,易受外界振动、温 度起伏等影响,降低了实验的可重复性。中国专利《基于衍射光栅的物参共路相移数字全息显微装置》,公开号为CN102147233A,公开日为20110810,利用光栅衍射和针孔滤波构建了物参共路的干涉显微装置,降低了环境振动对干涉成像的影响,提高了成像的纵向分辨率,但是该方法需通过移动光栅获得相移,不仅调控困难,而且振动等会给不同时刻采集的干涉图引入相位误差,同时因为在时间上分别完成记录多幅干涉图样,无法本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种分光同步移相共光路干涉显微检测装置,它包括光源(1),其特征在于:它还包括偏振片(2)、准直扩束系统(3)、第一分光棱镜(4)、第二分光棱镜(5)、第一λ/4波片(6)、校正物镜(7)、显微物镜(8)、待测物体(9)、第二λ/4波片(10)、第三λ/4波片(11)、矩形窗口(12)、第一傅里叶透镜(13)、一维周期光栅(14)、第二傅里叶透镜(15)、消偏振分光棱镜(16)、四象限偏振片组(17)、图像传感器(18)和计算机(19),其中λ为光源(1)发射光束的光波长,光源(1)发射的光束经偏振片(2)后入射至准直扩束系统(3)的光接收面,经准直扩束系统(3)准直扩束后的出射光束入射至第一...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:单明广钟志郝本功张雅彬窦峥刁鸣
申请(专利权)人:哈尔滨工程大学
类型:发明
国别省市:

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