【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及,属于光学干涉检测领域。
技术介绍
干涉显微将干涉技术和显微放大技术相结合,可精确地分析物体的三维形貌和相位型物体的位相信息,具有分辨力高、测量速度快等传统干涉技术和显微技术不可替代的优势,是一种比较理想的微小物体三维形貌和位相分布测量的方法。2006年,瑞士 Lyncee Tec公司首次推出DHM-1000数字全息显微镜,可用于测量微小物体的三维形貌和位相分布。但因为采用离轴全息光路而不能充分利用CCD分辨率和空间带宽积;同时不能在光路中消除物镜引起的相位畸变,为相位重构带来困难,并引起重构误差;因为采用分离光路干涉,即物光和参考光通过不同路径进行干涉,易受外界振动、温 度起伏等影响,降低了实验的可重复性。中国专利《基于衍射光栅的物参共路相移数字全息显微装置》,公开号为CN102147233A,公开日为20110810,利用光栅衍射和针孔滤波构建了物参共路的干涉显微装置,降低了环境振动对干涉成像的影响,提高了成像的纵向分辨率,但是该方法需通过移动光栅获得相移,不仅调控困难,而且振动等会给不同时刻采集的干涉图引入相位误差,同时因为在时间上分别完成记 ...
【技术保护点】
一种分光同步移相共光路干涉显微检测装置,它包括光源(1),其特征在于:它还包括偏振片(2)、准直扩束系统(3)、第一分光棱镜(4)、第二分光棱镜(5)、第一λ/4波片(6)、校正物镜(7)、显微物镜(8)、待测物体(9)、第二λ/4波片(10)、第三λ/4波片(11)、矩形窗口(12)、第一傅里叶透镜(13)、一维周期光栅(14)、第二傅里叶透镜(15)、消偏振分光棱镜(16)、四象限偏振片组(17)、图像传感器(18)和计算机(19),其中λ为光源(1)发射光束的光波长,光源(1)发射的光束经偏振片(2)后入射至准直扩束系统(3)的光接收面,经准直扩束系统(3)准直扩束后 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:单明广,钟志,郝本功,张雅彬,窦峥,刁鸣,
申请(专利权)人:哈尔滨工程大学,
类型:发明
国别省市:
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