【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及，属于光学干涉检测领域。
技术介绍
光学相移干涉仪是一种非接触、高精度的全场测量工具，被广泛的应用于光学表面、形变及厚度等检测领域。传统的光学干涉检测方法有泰曼-格林干涉法、马赫-曾德干涉法以及剪切干涉法等。其中，泰曼-格林干涉法、马赫-曾德干涉法等采用分离光路干涉，即参考光束和测量光束通过不同路径进行干涉，易受外界振动、温度起伏等影响；剪切干涉法等采用共光路干涉，即参考光束与测量光束通过共同路径后干涉，其对外界振动、温度起 伏等不敏感，具有一定抗干扰能力，但剪切干涉法同时实现剪切量和相移量调控比较困难，调控精度较低，且需移动光学元件引入相移提高测量精度，不仅不适合动态测量，还会引起光学系统的振动，形成噪声。为了解决这些困难，国内外学者作了诸多有益尝试。中国专利《可实时测量的同步相移斐索干涉装置》，公开号为CN102589414A，公开日为2012年7月18日，该专利利用λ/4波片替代传统斐索干涉仪中的标准平晶，使考光束与测量光束通过共同路径后干涉，并结合四象限偏振片组通过一次曝光获得四幅相移干涉图，在保证高空间分辨率的前提下，实现了测量的实时性，...
【技术保护点】
一种基于正交双光栅的同步相移共光路干涉检测装置，它包括光源(1)，其特征在于：它还包括偏振片(2)、准直扩束系统(3)、两个λ/4波片(4)、待测物体(5)、矩形窗口(6)、第一透镜(7)、一维周期幅度光栅(8)、一维周期相位光栅(9)、第二透镜(10)、四象限偏振片组(11)、图像传感器(12)和计算机(13)，其中λ为光源(1)发射光束的光波长，一维周期幅度光栅(8)和一维周期相位光栅(9)组成双光栅，一维周期幅度光栅(8)和一维周期相位光栅(9)按光栅线方向正交放置；光源(1)发射的光束经偏振片(2)入射至准直扩束系统(3)的光接收面，经该准直扩束系统(3)准直扩束后...
【技术特征摘要】
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