一种空间相移器制造技术

本发明专利技术公开了一种空间相移器，包括基板以及设在基板上的多个相移单元，每个相移单元包括n个厚度不等的相移台阶，所述n为大于等于3的自然数；将所述n个相移台阶按厚度从大到小排列，相邻两相移台阶的高度差为λ/n，其中λ为光波波长；所述每个相移单元中不同厚度的相移台阶之间的位置关系均相同；所述每个相移单元与CCD镜头光板上的一个像素相对应。本发明专利技术的空间相移器具有结构简单、测量精度高、生产成本低的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光学仪器，具体涉及一种空间相移器。
技术介绍
电子散斑干涉技术(ESPI)是以激光散斑作为被测物场变化信息的载体，利用被测物体在受激光照射后产生干涉散斑场的相关条纹来检测双光束波前后之间的相位变化。一束激光被透镜扩展并投射到被检测物体的表面上，反射光与从激光器直接投射到摄像机的参考光光束发生干涉，在被照射的表面产生散斑场及一系列散斑图像。当物体运动时，这些散斑会随之发生变化，这些变化表征出被测物体表面的位移场变化或形变信息。使用CCD (电荷耦合器件)摄像机得到视频信号，由计算机软件处理分析后在监视器上显示出表征物场变化的散斑干涉条纹图，通过数值计算将这些条纹解析为人们所熟知的物理量。 传统的干涉测量方法是直接判读一幅干涉图中的条纹序号N(x，y)由此获得被测波面的相位信息y) = 2—(4分。由于干涉的各种噪音、探测和判读的灵敏度及其不一致性等因素的影响，所得被测波面的面形并不理想。I960年Carr6提出相移的思想，Bruning等人实现了相移技术。相移技术能较准确的求得相位信息，得到被测波面的理想面形，因而得到了迅速的发展。相移的工作原理如下干涉光场中任一点本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种空间相移器，其特征在于，包括基板以及设在基板上的多个相移单元，每个相移单元包括n个厚度不等的相移台阶，所述n为大于等于3的自然数；将所述n个相移台阶按厚度从大到小排列，相邻两相移台阶的高度差为λ/n，其中λ为光波波长；所述每个相移单元中不同厚度的相移台阶之间的位置关系均相同；所述每个相移单元与CCD镜头光板上的一个像素相对应。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：曾启林，黄嘉兴，
申请(专利权)人：广州华工百川科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：