【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及多轴干涉仪，特别是一种五轴平镜干涉仪。
技术介绍
干涉仪是对目标装置的位移、长度等量进行精密测量的必不可少的工具。在干涉仪中，通过将光学路径长度的变化转换成位移量以对位移进行精确测量。双频激光干涉仪具有分辨率高、测速快、测量范围大、可进行多轴同步测量等优点，因此被广泛应用于先进制造和纳米技术中，比如用作高精度光刻机工件台掩模台的定位和测量。 为了能同时对目标装置进行长度或位移量、轴向旋转量等多个自由度的测量，可采用包含多个激光束的多轴干涉仪，每一个激光束对应干涉仪的一个测量轴。在多轴干涉仪中，多轴分光的光束必须具有相等的能量而且彼此互相平行。分光系统设计的好坏是多轴细分干涉仪成败的关键所在。一个好的分光系统能使干涉仪具有高稳定性和各路光束温度漂移的一致性。尽管多轴干涉仪已经被成功应用于诸多领域，但是对其性能进行持续提高以获得很好的测量精度，特别是对多轴干涉仪的分光系统进行不断改进以获得较好的稳定性、较低的温漂和非线性误差以及可调节性，仍是当前不断追求的目标。因此，多轴干涉仪的分光系统必须进行精心设计以确保由于光路不平衡引入的测量误差，比如热漂移和非...
【技术保护点】
一种五轴平镜干涉仪，特征在于其构成包括沿偏振正交双频激光入射方向依次有五轴分光系统和干涉模块。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：程兆谷，陈建芳，程亚，黄惠杰，池峰，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：
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