温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种五轴平镜干涉仪，构成包括沿偏振正交双频激光入射方向依次为五轴分光系统和干涉模块。所述的五轴分光系统由4个45o平面分光镜、3个45o全反镜和1个光程补偿全透镜组成。本发明具有元件易加工、非线性误差小、各路光束温漂一致以及光路调节方便等优...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。