一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪及使用方法技术

本发明专利技术公开了一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪及使用方法，其中激光干涉仪包括激光源、分光镜、微动平面反射镜、测量平面反射镜、光电探测器，还包括可移动微动平台、微动平面反射镜连接在微动平台上，微动平台优选为压电陶瓷。该新型平面反射镜激光干涉仪通过设置一个可移动微动平台，使微动平面反射镜发生位移，配合测量平面反射镜、激光源、分光镜、光电探测器，能够获得激光干涉过程中难以测量的干涉波的小数部分，可以进一步提高激光干涉仪的测量精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪。
技术介绍
激光器的出现，使古老的干涉技术得到迅速发展，激光具有亮度高、方向性好、单色性及相干性好等特点，激光干涉测量技术已经比较成熟。激光干涉测量系统应用非常广泛：精密长度、角度的测量如线纹尺、光栅、量块、精密丝杠的检测；精密仪器中的定位检测系统如精密机械的控制、校正；大规模集成电路专用设备和检测仪器中的定位检测系统；微小尺寸的测量等。在大多数激光干涉测长系统中，都采用了迈克尔逊干涉仪或类似的光路结构。单频激光干涉仪从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式L＝N×λ/2，式中λ为激光波长(N为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。单频激本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪，包括激光源(1)、分光镜(2)、微动平面反射镜(3)、测量平面反射镜(4)、光电探测器(5)、微动平台(6)，其特征在于，所述微动平面反射镜(3)连接在微动平台(6)上。

【技术特征摘要】
1.一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪，包括激光源(1)、分光镜(2)、微动平
面反射镜(3)、测量平面反射镜(4)、光电探测器(5)、微动平台(6)，其特征在于，
所述微动平面反射镜(3)连接在微动平台(6)上。
2.根据权利要求1所述的一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪，其特征在于，
所述微动平台(6)为压电陶瓷。
3.根据权利要求2所述的一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪，其特征在于，
连接所述微动平面反射镜(3)的所述压电陶瓷产生的位移行程最大值等于所述激
光源(1)的激光波长长度。
4.一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪的使用方法，其特征在于，包括如权
利要求1-3任一所述的一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪，包括以下步骤：
步骤一、将所述微动平面反射镜(3)固定在所述微动平台(6)上，调整好所述激光
源(1)、分光镜(2)、微动平面反射镜(3)、测量平面反射镜(4)、光电探测器(5)的位
置；
步骤二、启动所述激光源，所述激光源(1)发出的激光到所述分光镜(2)反射，经
反射后的激光射入到所述微动平面反射镜(3)，在所述微动平面反射镜(3)的平面
反射到所述光电探测器(5)；所述激光源(1)发出的激光到所述分光镜(2)，经透射
后的激光入射到所述测量平面反射镜(4)，经所述测量平面反射镜(4)的平面反射
到所述光电探测器(5)，光电探测器(5)可以检测出激光干...

【专利技术属性】
技术研发人员：张白，潘俊涛，康学亮，
申请(专利权)人：北方民族大学，
类型：发明
国别省市：宁夏;64