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本发明公开了一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪及使用方法，其中激光干涉仪包括激光源、分光镜、微动平面反射镜、测量平面反射镜、光电探测器，还包括可移动微动平台、微动平面反射镜连接在微动平台上，微动平台优选为压电陶瓷。该新型平面反射镜激光干涉仪...
该专利属于北方民族大学所有，仅供学习研究参考，未经过北方民族大学授权不得商用。

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