平面摆式干涉仪制造技术

平面摆式干涉仪，包括光源，光源后的光路上依次设有将光源发出的光准直为平行光的第一准直镜，以及将平行光分成两束光的分束器，两束光一束为反射光，另一束为透射光，于分束器一侧的反射光的光路上，依次设有将反射光反射到第一角镜的第一平面镜，以及将反射光原路反射回分束器的第一角镜，于分束器另一侧的透射光的光路上，依次设有将透射光反射到第二角镜的第二平面镜，以及将透射光原路反射回分束器的第二角镜，第一角镜和第二角镜之间设有能够转动的扭曲轴承，使第一角镜和第二角镜摆动产生光程差，于分束器另一侧形成干涉光，分束器另一侧设有将干涉光汇聚到探测器的焦点上的第二准直镜。本实用新型专利技术光学效率相对提高1.33倍，稳定性好。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种红外光谱测试仪器，它可在实验室及现场环境中使用，用于样品的红外光谱分析。由于其体积小、质量轻、结构紧凑更适合移动到现场。
技术介绍
傅立叶变换红外光谱仪是把红外光通过干涉仪调制成干涉光，再把干涉光通过傅立叶变换转化成光谱。仪器的核心是干涉仪，干涉仪性能的优良决定仪器的优劣，国内生产傅立叶变换红外光谱仪的厂家很少，国外生产傅立叶变换红外光谱仪的公司也不是很多。各家公司的干涉仪都各不相同，但都是在迈克尔逊干涉仪的基础上的变形。构成干涉仪的动镜和定镜大都采用平面镜或角镜，通过移动平面镜或角镜改变光程差，而形成干涉图。移动平面镜或者角镜的方式有两种，一种是平行移动，一种是转动。但现有的干涉仪体积和质量较大，搬动不便，外界因素容易影响仪器的干涉度，稳定性不够。
技术实现思路
本技术提供一种平面摆式干涉仪，以解决
技术介绍
中存在的技术问题。为此，本技术的一种平面摆式干涉仪，包括光源，所述光源后的光路上依次设有将光源发出的光准直为平行光的第一准直镜，以及将所述平行光分成两束光的分束器，所述两束光一束为反射光，另一束为透射光，于所述分束器一侧的所述反射光的光路上，依次设有将所述反射光反射到第一角镜的第一平面镜，以及将所述反射光原路反射回所述分束器的所述第一角镜，于所述分束器另一侧的所述透射光的光路上，依次设有将所述透射光反射到第二角镜的第二平面镜，以及将所述透射光原路反射回所述分束器的所述第二角镜，所述第一角镜和第二角镜之间设有能够转动的扭曲轴承，使所述第一角镜和第二角镜摆动产生光程差，于所述分束器另一侧形成干涉光，所述分束器另一侧设有将所述干涉光汇聚到探测器的焦点上的第二准直镜。其中，所述平行光以20°入射角进入所述分束器。其中，所述扭曲轴承通过电磁驱动音圈带动。其中，所述第一平面镜、第二平面镜、第一角镜、第二角镜和分束器均固定到一个干涉仪架上。其中，所述第一平面镜和第二平面镜其中之一为固定式，另一平面镜为能够平行移动。其中，所述第一平面镜和第二平面镜均能够平行移动。其中，所述第一平面镜和第二平面镜外形为圆形、长方形或椭圆形。其中，所述第一平面镜和第二平面镜材质为石英玻璃。其中，所述第一平面镜和第二平面镜的光学反射镜面镀金。由于采用了角反射镜，这样就降低了外界因素对仪器干涉度的影响，显著提高了仪器的稳定性。本技术采用入射到分束器的光束入射角为20°和传统的迈克尔逊干涉仪45°入射角相比，光学效率相对提高1.33倍(C0S20° /COS45。)。本技术的分束器、平面镜、角镜都在一个干涉仪架上，使得干涉仪非常紧凑、体积很小。环境适应性增强，稳定性好。本技术平面镜外形设计为圆形、长方形或椭圆形，提高材料的使用效率，材质采用石英玻璃表面镀金，提高光学反射效率。附图说明图I是本技术的结构示意图。 附图标记说明I-光源；2_第一准直镜；3_第一平面镜；4_分束器；5_第二平面镜；6_扭曲轴承；7-第二角镜；8_第二准直镜；9_探测器；10_干涉仪架；11_音圈；12_第一角镜。具体实施方式为了使本技术的形状、构造以及特点能够更好地被理解，以下将列举较佳实施例并结合附图进行详细说明。本技术包括光源1，光源I发出的光经过第一准直镜2后成为一束平行光，平行光以20°角进入分束器4后分成两束,一束为反射光,另一束为透射光。反射光被经第一平面镜3反射到第一角镜12，然后反射回第一平面镜3，再返回分束器4。透射光经第二平面镜5反射到第二角镜7，然后反射回第二平面镜5，再返回分束器4。角镜12和7之间设有扭曲轴承6，通过电磁驱动音圈11运动再带动扭曲轴承6转动，而使两个角镜12和7摆动产生光程差，使返回所述分束器4的反射光和透射光形成干涉光。干涉光经过第二准直镜8汇聚到探测器9的焦点上。所述平面镜3、5，角镜7、12，分束器4均固定到一个干涉仪架10上，结构紧凑、体积小、重量轻。平面镜3和5可以设置为一边平面镜为固定式，另一边平面镜能够调整，通过平行移动调整平面镜的位置，来调整光程差；也可设计成两边都可平行移动来调整的平面镜结构；也可设计成一边平面镜为固定式，另一边调整后然后固定的方式。平面镜3和5外形为圆形、长方形或椭圆形，材质为石英玻璃，光学反射镜面镀金。由于光以20°角进入到分束器，光学效率是传统的迈克尔逊干涉仪的I. 33倍。另外这种干涉仪由于采用了角镜使仪器的抗干扰能力稳定性得到了加强。稳定性得到提升。以上对本技术的描述是说明性的，而非限制性的，本专业技术人员理解，在权利要求限定的精神与范围之内可对其进行许多修改、变化或等效，但是它们都将落入本技术的保护范围内。权利要求1.一种平面摆式干涉仪，其特征在于，包括光源，所述光源后的光路上依次设有将光源发出的光准直为平行光的第一准直镜，以及将所述平行光分成两束光的分束器，所述两束光一束为反射光，另一束为透射光， 于所述分束器一侧的所述反射光的光路上，依次设有将所述反射光反射到第一角镜的第一平面镜，以及将所述反射光原路反射回所述分束器的所述第一角镜， 于所述分束器另一侧的所述透射光的光路上，依次设有将所述透射光反射到第二角镜的第二平面镜，以及将所述透射光原路反射回所述分束器的所述第二角镜， 所述第一角镜和第二角镜之间设有能够转动的扭曲轴承，使所述第一角镜和第二角镜摆动产生光程差，反射回所述分束器的反射光与透射光于所述分束器另一侧形成干涉光，所述分束器另一侧设有将所述干涉光汇聚到探测器的焦点上的第二准直镜。2.如权利要求I所述的平面摆式干涉仪，其特征在于，所述平行光以20°入射角进入所述分束器。3.如权利要求I所述的平面摆式干涉仪，其特征在于，所述扭曲轴承通过电磁驱动音圈带动。4.如权利要求I所述的平面摆式干涉仪，其特征在于，所述第一平面镜、第二平面镜、第一角镜、第二角镜和分束器均固定到一个干涉仪架上。5.如权利要求I所述的平面摆式干涉仪，其特征在于，所述第一平面镜和第二平面镜其中之一为固定式，另一平面镜为能够平行移动。6.如权利要求I所述的平面摆式干涉仪，其特征在于，所述第一平面镜和第二平面镜均能够平行移动。7.如权利要求I所述的平面摆式干涉仪，其特征在于，所述第一平面镜和第二平面镜外形为圆形、长方形或椭圆形。8.如权利要求I所述的平面摆式干涉仪，其特征在于，所述第一平面镜和第二平面镜材质为石英玻璃。9.如权利要求I所述的平面摆式干涉仪，其特征在于，所述第一平面镜和第二平面镜的光学反射镜面镀金。专利摘要平面摆式干涉仪，包括光源，光源后的光路上依次设有将光源发出的光准直为平行光的第一准直镜，以及将平行光分成两束光的分束器，两束光一束为反射光，另一束为透射光，于分束器一侧的反射光的光路上，依次设有将反射光反射到第一角镜的第一平面镜，以及将反射光原路反射回分束器的第一角镜，于分束器另一侧的透射光的光路上，依次设有将透射光反射到第二角镜的第二平面镜，以及将透射光原路反射回分束器的第二角镜，第一角镜和第二角镜之间设有能够转动的扭曲轴承，使第一角镜和第二角镜摆动产生光程差，于分束器另一侧形成干涉光，分束器另一侧设有将干涉光汇聚到探测器的焦点上的第二准直镜。本技术光学效率相对提高1.33倍，稳定性好。文档编号G01J3/45本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平面摆式干涉仪，其特征在于，包括光源，所述光源后的光路上依次设有将光源发出的光准直为平行光的第一准直镜，以及将所述平行光分成两束光的分束器，所述两束光一束为反射光，另一束为透射光，于所述分束器一侧的所述反射光的光路上，依次设有将所述反射光反射到第一角镜的第一平面镜，以及将所述反射光原路反射回所述分束器的所述第一角镜，于所述分束器另一侧的所述透射光的光路上，依次设有将所述透射光反射到第二角镜的第二平面镜，以及将所述透射光原路反射回所述分束器的所述第二角镜，所述第一角镜和第二角镜之间设有能够转动的扭曲轴承，使所述第一角镜和第二角镜摆动产生光程差，反射回所述分束器的反射光与透射光于所述分束器另一侧形成干涉光，所述分束器另一侧设有将所述干涉光汇聚到探测器的焦点上的第二准直镜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：高学军，龚蓉晔，王百华，刘志国，杨海山，武惠忠，彭海英，王文智，
申请(专利权)人：北京瑞利分析仪器有限公司，
类型：实用新型
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