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平面摆式干涉仪制造技术
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文档序号:8147796
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平面摆式干涉仪,包括光源,光源后的光路上依次设有将光源发出的光准直为平行光的第一准直镜,以及将平行光分成两束光的分束器,两束光一束为反射光,另一束为透射光,于分束器一侧的反射光的光路上,依次设有将反射光反射到第一角镜的第一平面镜,以及将反射...
该专利属于北京瑞利分析仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京瑞利分析仪器有限公司授权不得商用。
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