基于分光同步移相的干涉检测装置及检测方法制造方法及图纸

基于分光同步移相的干涉检测装置及检测方法，属于光学干涉检测领域，本发明专利技术为解决现有光学相移干涉检测方法操作复杂困难、测量精度低的问题。本发明专利技术方案：光源发射的光束经偏振片和准直扩束系统的准直扩束后形成线偏振光，该线偏振光通过第一偏振分光棱镜后分成物光束和参考光束；汇合于第二偏振分光棱镜的物光束和参考光束通过λ/4波片和矩形窗口后，再依次经过第一傅里叶透镜、一维周期光栅、第二傅里叶透镜、消偏振分光棱镜和四象限偏振片组后，在图像传感器平面上产生干涉图样，计算机将采集获得的干涉图样处理，获取待测物体的相位分布。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，属于光学干涉检测领域。
技术介绍
光学移相干涉测量是一种非接触、高精度的全场测量方法，被广泛的应用于光学 表面、形变及厚度等测量领域，但传统的移相技术由于需要在不同时间采集多幅移相干涉图，不适合测量运动物体或动态过程。同步相移可在同一时间得到多幅相移干涉图，克服了传统时间相移干涉技术的缺点，可实现运动物体或动态过程的实时测量，近年来受到国内外学者的广泛关注。墨西哥学者G. Rodriguez-Zurita等提出利用一维光栅和偏振调制方法相结合实现同步相移(G. Rodriguez-Zurita, C. Meneses-Fabian, N. I. Toto-Arellano, J.F. Vazquez-CastillojC. Robledo-Sanchez. One-shot phase-shifting phase-gratinginterferometry with modulation of polarization:case of four interferograms.Opt. Express, 2008, 16(11) :7806_7817)。该方法利用光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于分光同步移相的干涉检测装置，它包括光源（1），其特征在于：它还包括偏振片（2）、准直扩束系统（3）、第一偏振分光棱镜（4）、待测物体（5）、第一反射镜（6）、第二反射镜（7）、第二偏振分光棱镜（8）、λ/4波片（9）、矩形窗口（10）、第一傅里叶透镜（11）、一维周期光栅（12）、第二傅里叶透镜（13）、消偏振分光棱镜（14）、四象限偏振片组（15）、图像传感器（16）和计算机（17），其中λ为光源（1）发射光束的光波长，光源（1）发射的光束经偏振片（2）入射至准直扩束系统（3）的光接收面，经该准直扩束系统（3）准直扩束后的出射光束入射至第一偏振分光棱镜（4），第一偏振分光棱镜（4）的...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：单明广，钟志，郝本功，窦峥，张雅彬，刁鸣，
申请(专利权)人：哈尔滨工程大学，
类型：发明
国别省市：