一种基于稀疏的微小缺陷高频超声显微成像超分辨的方法技术

本发明专利技术属于稀疏超分辨检测领域，并公开了一种基于稀疏的微小缺陷高频超声显微成像超分辨的方法。该方法包括如下步骤：执行过采样高频超声显微C‑扫成像；根据过采样时的采样步长与超声探头分辨率，计算出探头点扩散函数k；由点扩散函数根据进行稀疏超分辨计算，获得最终高分辨图像。本发明专利技术方法实现了高频显微成像对现微小缺陷进行超分辨显微成像，增强图像信噪比和分辨率，提高微小缺陷检测的准确性，同时对于微观缺陷的检测有着重要的意义，有效地推动微器件可靠性的发展。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于稀疏超分辨检测领域，更具体地，涉及一种基于稀疏的微小缺陷高频超声显微成像超分辨的方法。
技术介绍
随着现代先进制造技术发展到微观尺度，器件的总体尺寸越来越小，器件中的微观缺陷也变得不可忽视。微缺陷检测最常用的方法包括声学显微成像(AMI)、X射线和红外热成像等。其中，超声显微成像技术，也被称作扫描声学成像显微镜(SAM)，具有结果清晰易于分析和对人体无害等优势被广泛采用，对分层、界面空洞和微气泡等微小缺陷十分敏感。AMI对微小缺陷的分辨能力主要取决于超声探头的频率，目前商用的高频超声探头已经达到200MHz甚至GHz。但GHz探头穿透深度浅(不超过100μm)，价格十分昂贵且容易损坏，使用时需要具有一定专业技术水准的人员才能进行操作。因而，目前广泛使用的仍然是频率不超过300MHz的高频超声探头，其分辨率一般在20～100μm，而这对于总体尺寸在102μm量级的微小缺陷来说分辨能力严重不足；英国利物浦大学的GuangmingZhang等人(G.Zhang；C.Zhang；D.M.Harvey.Sparsesignalrepresentationanditsapplic本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于稀疏的微小缺陷高频超声显微成像超分辨的方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：(a)：预设过采样的步长s，并通过超声显微成像方法获得C‑扫图像y，即未进行稀疏超分辨的图像；(b)：根据所述步长s和所述超声显微成像中使用的超声探头的横向分辨率r，按照下列表达式计算所述超声探头的点扩散函数k，k为r/s×r/s的阵列，其中，σ为所述点扩散函数k的标准差，σ取值4～8之间的实数，m、n分别为所述点扩散函数k的横纵坐标值，m、n分别取1～r/s之间的正整数值，k(m,n)=12πσ2exp(-m2+n22σ2);]]>(c)根据稀疏超分辨重构计算最终超分辨图像(c1...

【技术特征摘要】
1.一种基于稀疏的微小缺陷高频超声显微成像超分辨的方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：(a)：预设过采样的步长s，并通过超声显微成像方法获得C-扫图像y，即未进行稀疏超分辨的图像；(b)：根据所述步长s和所述超声显微成像中使用的超声探头的横向分辨率r，按照下列表达式计算所述超声探头的点扩散函数k，k为r/s×r/s的阵列，其中，σ为所述点扩散函数k的标准差，σ取值4～8之间的实数，m、n分别为所述点扩散函数k的横纵坐标值，m、n分别取1～r/s之间的正整数值，k(m,n)=12πσ2exp(-m2+n2...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖广兰，张贻春，史铁林，王西彬，汤自荣，洪源，王肖，陈科鹏，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：湖北;42