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对称移焦式轴向高分辨共焦显微成像装置属于光学精密测量领域；对称移焦式轴向高分辨共焦显微成像装置，包括照明光路和探测光路，所述的照明光路为：激光器发出的光束经准直镜组准直后，平行穿过偏振分光镜和1/4λ波片，由聚焦显微物镜会聚到被测物体上；所...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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