CVD设备的进气装置、冷却装置及冷却方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种CVD设备的进气装置，用于该进气装置的冷却装置及冷却方法。其中所述的冷却装置设有主体和底板，主体包含第一冷却槽和第二冷却槽，第一冷却槽还包含隔开的第一入水槽和第一出水槽。冷却液进入第一入水槽后通过间隔部上的第一开口流入第二冷却槽，接着沿着底板中的冷却通道从第二冷却槽的入水处流至出水处，再通过间隔部上的第二开口从第二冷却槽流入第一出水槽后导出冷却装置。本发明专利技术能够有效解决冷却液在冷却通道不同位置流速不一致的问题，并且由于第一入水槽和第一出水槽的缓冲作用，能够使得冷却液能够比较均匀地流入或流出第二冷却槽，从而避免局部位置的冷却液过于集中，有助于提高冷却进气装置表面温度时的均匀性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种冷却装置，其特征在于，所述冷却装置包括主体（50），所述主体（50）内部设置有分别供冷却液流通的第一冷却槽（520）和第二冷却槽（560），第一冷却槽（520）和第二冷却槽（560）相连通；其中，所述第一冷却槽（520）用以接收导入至冷却装置的冷却液，并将冷却液导入至第二冷却槽（560），所述第二冷却槽（560）用以在冷却液流通后将冷却液导出至第一冷却槽（520），所述第一冷却槽（520）进一步用以将冷却液从冷却装置中导出。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吕青，张伟，任立，施广涛，
申请(专利权)人：中晟光电设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：