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本发明涉及一种CVD设备的进气装置，用于该进气装置的冷却装置及冷却方法。其中所述的冷却装置设有主体和底板，主体包含第一冷却槽和第二冷却槽，第一冷却槽还包含隔开的第一入水槽和第一出水槽。冷却液进入第一入水槽后通过间隔部上的第一开口流入第二冷却...
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