石墨烯的制备设备及制备方法技术

本发明专利技术提供了一种石墨烯的制备设备及制备方法，该方法向真空度小于或等于1Torr的生长室中通入载气与碳源，利用线圈中交变电流电磁感应加热生长基体，生长石墨烯。与现有利用热传递或热辐射加热进行制备石墨烯相比，首先，本发明专利技术利用线圈中交变电流电磁感应在生长基体上产生涡旋电流，利用生长基体本身上的电流转化为热量，使得生长基体可迅速升温，同时断电后可迅速降温；其次，本发明专利技术无需对整个生长室加热，只需加热生长基体，而石墨烯是由生长基体附近碳源反应生成，因此，该方法能量利用率高；再次，本发明专利技术无需复杂而庞大的外围加热设备，系统结构简单，成本较低。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种石墨烯的制备设备，其特征在于，包括：供气系统；与所述供气系统相连接的生长室；与所述生长室相连接的抽真空装置；设置于所述生长室内的生长基体；缠绕于所述生长室外的线圈；与所述线圈相连通的交变电流源。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张为国，史浩飞，李占成，杜春雷，
申请(专利权)人：重庆绿色智能技术研究院，
类型：发明
国别省市：