【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种气体预热系统，用于一化学气相沉积，包含：一加热模块；以及一传送模块，用于通过一种或多种气体；其中所述加热模块透过所述传送模块，间接加热所述一种或多种气体。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：方政加，刘恒，
申请(专利权)人：绿种子科技潍坊有限公司，
类型：发明
国别省市：
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