【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
多片双面薄膜快速沉积装置，包括基片台[1]、传动机构[6]、基片台[1]和传动机构[6]连接，其特征在于，还包括两个靶材盒[7]，所述基片台[1]设置有至少两个通孔[2]，通孔[2]的两端设置有点式限位机构[4]，基片台[1]设置于第一加热片[15]和第二加热片[16]之间的加热腔中，第一加热片[15]和第二加热片[16]设置有作为沉积区的开口，开口位置与基片台[1]上的通孔[2]位置适配。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陶伯万，熊杰，朱昌伟，徐亚新，李言荣，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。