本发明专利技术公开了一种真空机械手用防滑盘头，其中该防滑盘头的材质为氟素弹性体。本发明专利技术还公开了一种真空机械手用防滑盘头的操作方法，该方法为在高真空状态下，防滑盘头以４８．２度／秒↑［２］的加速度，再以６３．６度／秒的速度，最后以４８．２度／秒↑［２］的减速度搬送玻璃基板。本发明专利技术通过更换防滑盘头的材质和／或改变真空机械手的动作速度来有效提高玻璃基板处理枚数。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及液晶显示器制造工艺中的溅射设备，尤其涉及一种真空机械手用防滑盘头及其操作方法。
技术介绍
在液晶显示器制造工艺中，溅射设备是通过真空机械手用防滑盘头来实现玻璃基板的稳定搬送的。真空机械手用防滑盘头的作用是玻璃基板在高真空状态下搬送时，保持基板与机械臂手没有相对滑动，即在保持基板与机械臂手保持相对静止的静摩擦力(即基板保持力)下从而实现基板的搬送精度。但是在实际生产过程中，真空机械手用防滑盘头一般为橡胶材质。橡胶材质的防滑盘头一般随着搬送基板枚数的增加，防滑盘头本身的磨损及高温裂化会引起基板与机械臂手之间产生相对滑动，从而造成搬送位置偏移，最终导致降低有效基板处理枚数(是指由于保持力不足导致搬送位置偏移为止搬送基板的数量)，降低生产效率。因此，迫却需要对真空机械手用防滑盘头加以改进，来提高有效基板处理枚数。
技术实现思路
本专利技术针对延长防滑盘头的有效基板处理枚数，提出改进措施。-->本专利技术的目的是提供一种真空机械手用防滑盘头，其中，该防滑盘头的材质为氟素弹性体。本专利技术的氟素弹性体的真空机械手用防滑盘头在操作时摩擦小，在高温下不易裂化，从而可以延缓衰老，可以极大地提高有效基板的处理枚数。本专利技术的另一目的是提供操作真空机械手用防滑盘头的方法，该方法为在高真空状态下，防滑盘头以48.2dec/s2(度/秒2)的加速度，再以63.6dec/s(度/秒)的速度，最后以48.2dec/s2(度/秒2)的减速度搬送玻璃基板。使用这种速度的操作方法也可以极大地提高有效基板的处理枚数。若使用本专利技术的真空机械手用防滑盘头和本专利技术的操作真空机械手用防滑盘头的方法更可以极大地提高有效基板的处理枚数。本专利技术的积极进步效果在于：本专利技术通过更换防滑盘头的材质和/或改变真空机械手的动作速度来有效提高玻璃基板的处理枚数。附图说明图1为机械臂示意图；图2为橡胶防滑盘头和氟素弹性体防滑盘头的保持力比较图。具体实施方式实施例1在真空机械臂上安装橡胶防滑盘头和氟素弹性体防滑盘头，橡胶防滑盘头的数量为204个，氟素弹性体防滑盘头的数量为104个，在真空中以72.3dec/s2的加速度、再以74.2dec/s的速度、最后以72.3dec/s2的减速度，以及以48.2dec/s2的加速度、再以63.6dec/s的速度、最后以48.2dec/s2的减速-->度将玻璃基板从搬送室处搬送至成膜室处。各种方案下的有效基板处理枚数如表1所示。表1 各种方案下的有效基板处理枚数 防滑盘头 真空机械手的速度 基板有效处理枚数(枚) 204个 橡胶 72.3dec/s2、74.2dec/s、72.3dec/s2 45,000 48.2dec/s2、63.6dec/s、48.2dec/s2 100,000 104个 氟素弹性体 72.3dec/s2、74.2dec/s、72.3dec/s2 60,000 48.2dec/s2、63.6dec/s、48.2dec/s2 110,000结果表明：在真空机械手动作速度为72.3dec/s2、74.2dec/s、72.3dec/s2状态下，氟素弹性体的防滑盘头比橡胶的防滑盘头少使用100个，而氟素弹性体防滑盘头的有效基板处理枚数比橡胶防滑盘头多15000枚；在真空机械手动作速度为48.2dec/s2、63.6dec/s、48.2dec/s2状态下，氟素弹性体防滑盘头的有效基板处理枚数比橡胶防滑盘头的多10000枚。本专利技术的真空机械手的速度越慢，防滑盘头的有效基板处理枚数越多。实施例2在真空机械臂上安装橡胶防滑盘头和氟素弹性体防滑盘头，但橡胶防滑盘头和氟素弹性体防滑盘头的数量各为204个和104个，在真空中以72.3dec/s2的加速度、再以74.2dec/s的速度、最后以72.3dec/s2的减速度，以及以48.2dec/s2的加速度、再以63.6dec/s的速度、最后以48.2 dec/s2的减速度将玻璃基板从搬送室处搬送至成膜室处。各种方案下的有效基板处理枚数如表2所示。表2 各种方案下的有效基板处理枚数 防滑盘头 真空机械手的速度 基板有效处理枚数(枚) 204个 橡胶 72.3dec/s2、74.2dec/s、72.3dec/s2 45,000 48.2dec/s2、63.6dec/s、48.2dec/s2 100,000--> 104个 氟素弹性体 72.3dec/s2、74.2dec/s、72.3dec/s2 60,000 48.2dec/s2、63.6dec/s、48.2dec/s2 110,000结果表明：用橡胶防滑盘头，在机械手速度下降10％的情况下，有效基板处理枚数增加55000枚；而用氟素弹性体防滑盘头，有效基板处理枚数增加50000枚。实施例3在真空机械臂上安装橡胶防滑盘头和氟素弹性体防滑盘头，橡胶防滑盘头的数量都为204个，氟素弹性体防滑盘头的数量为104个，在真空中以72.3dec/s2的加速度、再以74.2dec/s的速度、最后以72.3dec/s2的减速度将玻璃基板从搬送室处搬送至成膜室处。橡胶防滑盘头和氟素弹性体防滑盘头的保持力(如图1所示的机械臂的正面3和侧面4，1为机械臂，2为基板)如表3及图2所示。表3 橡胶防滑盘头和氟素弹性体防滑盘头的保持力 机械臂 保持力 (Kg) 防滑盘头材质 204个 橡胶 104个氟 素弹性体 上机械臂 正面3 4.30 5.50 侧面4 2.45 3.52 下机械臂 正面3 4.20 5.50 侧面4 2.55 3.30结果表明：在高真空及高温的状态下，氟素弹性体防滑盘头比橡胶防滑盘头对基板有更大的基板保持力和更缓慢的裂化速度。结论：本专利技术的防滑盘头的材质选用氟素弹性体，且真空机械手的速度设定为48.2dec/s2、63.6dec/s、48.2dec/s2。-->本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种真空机械手用防滑盘头，其特征在于该防滑盘头的材质为氟素弹性体。
【技术特征摘要】
1、一种真空机械手用防滑盘头，其特征在于该防滑盘头的材质为氟素弹性体。2、一种权利要求1所述的真空机械手用防滑盘头的操作方法，该方...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹阳，
申请(专利权)人：上海广电NEC液晶显示器有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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