【技术实现步骤摘要】
本技术属于一种溅镀腔室腔壁防镀遮板装置，具体涉及镀膜后腔壁清洁，以维持真空环境下镀膜品质。
技术介绍
现有溅镀设备的镀膜腔室为防止溅镀源同时溅镀到腔壁上皆采取安装防镀遮板来达到目的，且皆以螺丝固定方式锁固在腔壁上，此举虽可固定牢靠，但对于后续维护防镀遮板造成相当的不便利，若锁固螺丝数量多，会花费相当多的时间在于螺丝的拆卸上。
技术实现思路
综上所述，为了克服现有技术不足，本技术的主要目的在于提供一种溅镀腔室腔壁防镀遮板装置。为了达到上述目的，本技术所采用的技术方案是:一种溅镀腔室腔壁防镀遮板装置，包括两个遮板本体、密接边及下端折边所构成，其中一个遮板本体设有阶梯状的密接边且高于另一个遮板边缘3_的高度,使两个遮板可接合无间隙，同时遮板本体下端设有折边，使遮板本体可放至于腔壁上无需任何螺丝固定，同时为增加遮板本体强度，在其内部设有补强片，增加横向强度。本技术进一步改进在于:所述之防镀遮板以拼接方式密合，无需螺丝锁固。本技术与现有技术相比的优点:无需螺丝锁固，维修保养方便，节省保养时间。 附图说明图1系为本技术结构示意图。图2系为本技术侧面结构示意图。主要组件符号说明11...遮板本体12...密接边13...下端折边14...遮板本体21...补强板具体实施方式以下结合附图对本技术做进一步说明。请参阅图1所示，一种溅镀腔室腔壁防镀遮板装置，其包括遮板本体11及14、密接边12、下端折边13组成，遮板本体11、14，一个遮板本体11设有阶梯状的密接边12且高于另一个遮板边缘3_的高度，可将两个遮板本体接合且无任何间隙，同时设有下端遮板13，可将遮板本体11、14放置...
【技术保护点】
一种溅镀腔室腔壁防镀遮板装置，其包括遮板本体所组成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周文彬，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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