【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于一种薄膜沈积设备腔体冷却水加热装置，具体涉及镀膜腔体冷却，以维持真空腔体温度不致于散热过多，使内部加热器不断加热节约能源。
技术介绍
现有溅镀设备的镀膜腔体冷却皆采取同一温度的冷却源来冷却，但大都忽略真空腔体并非主动发热源，若使用同一温度冷却会发生腔体温度低于室温，此举不利于内部设置有加热装置的腔体，腔体无形中变成散热装置会使加热源不断的加热以达到腔体内热平衡，不仅非常浪费能源同时增加加热源加热功率。
技术实现思路
综上所述，为了克服现有技术不足，本专利技术的主要目的在于提供一种薄膜沈积设备腔体冷却水加热装置。为了达到上述目的，本专利技术所采用的技术方案是: 一种薄膜沈积设备腔体冷却水加热装置，包括真空汞、冷却管路、储水槽及水汞组成，冷却水流经真空汞后间接被加热至一定温度后流入储水槽，同时储水槽设有温度计及液位传感器，当温度高于设定温度时，冷却水直接经由电磁阀冷却储水槽内部温度；当液位传感器动作时排水管排出多馀的水位使储水槽保持一定的液位。储水槽的冷却水再经由水汞流经薄膜沈积设备腔体使腔体保持一定的温度，此举节省加热冷却水所需的能源，不需另外设置加热系统。综上所述本专利技术结构简单、节省能源。具體實施方式 下面結合附图对本专利技术做进一步说明。請參閲圖I所示，一种薄膜沈积设备腔体冷却水加热装置，其包括真空汞11、沈积设备腔体12、储水槽13、水汞19及冷却管路18所组成，储水槽13设有温度计14及液位传感器15，冷却管路设有电磁阀17，冷却水经由真空汞11被加热至一定温度后流入储水槽13，储水槽13设有温度计14，当温度超过设定时，冷却水经...
【技术保护点】
一种薄膜沈积设备腔体冷却水加热装置，其包括储水槽、供水管路、水汞所组成。
【技术特征摘要】
1.一种薄膜沈积设备腔体冷却水加热装置，其包括储水槽、供水管路、水汞所组成。2.根据权利要求1所述之一种薄膜沈积设备腔体冷却水加热装置，其特徵在于储水槽设...
【专利技术属性】
技术研发人员：周文彬，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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