本发明专利技术公开一种防止热损伤的ITO薄膜制造方法及其制造装置，包括基材，所述基材在真空腔室内从放料辊出发，绕过溅射主辊，在溅射主辊处经靶材溅射形成ITO薄膜，最后到达收卷辊收卷。本发明专利技术在现有技术的基础上通过增加张力摆辊和展平辊展平基材，使基材与溅射主辊完全接触，对溅射主辊内部设水循环系统带走溅射中产生的热量，使溅射主辊和第二收料导辊与地线相连接带走部分电荷，在卷取辊旁设一除静电装置除去静电等技术改良，有效地减少热损伤、变形、电击人体等现象的发生，使ITO薄膜的生产过程更加安全、高效，其产品更加美观，提高优品率。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及ΙΤ0薄膜生产
，特别涉及一种防止热损伤的ΙΤ0薄膜制造方法及其制造装置。
技术介绍
因为ΙΤ0薄膜具有良好的透明性与导电性，同时还具有良好的刻蚀性，因而被大量运用于平面液晶显示(IXD)，电致发光显示(ELD)，电致色彩显示(E⑶)等。随着近几年来，国内液晶显示器产业的大力发展，对ΙΤ0产品的需求量增大的同时，对产品的质量有了新的要求。现存的ΙΤ0薄膜生产工艺中，特别是在溅射成膜的时候，粒子碰撞会产生很大的电荷，随着溅射生产时间的增加，薄膜基材表面的电荷密度不断增大，并与薄膜基材表面接触的溅射主辊形成通路，使得溅射主辊以及薄膜基材的温度上升，导致膜损伤。同时，在高能粒子和等离子体的环境下，带电粒子入射，大量的电流流动，造成电流热效应的热量很大，薄膜基材在被高温加热的情况下，薄膜基材会产生变形和褶皱等热损伤现象，造成ΙΤ0薄膜的成品率不稳定。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术存在之缺，其目的在于提供一种防止热损伤的ΙΤ0薄膜制造方法及其制造装置，其可有去除ΙΤ0薄膜表面电量，降低成膜环境的温度，减轻ΙΤ0薄膜的热损伤。为达上述目的，本专利技术采用如下之技术方案:—种防止热损伤的ΙΤ0薄膜制造方法，包括基材，所述基材在真空腔室内从放料辊出发，绕过溅射主辊，在溅射主辊处经靶材溅射形成ΙΤ0薄膜，最后到达收卷辊收卷，在基材到达溅射主辊前，使用展平辊和张力摆辊使基材保持展平状态，以便基材与溅射主辊表面完全接触；在溅射主辊内部设置水循环系统，通过水循环带走溅射主辊上的部分热量，降低溅射主辊表面温度；在收卷辊旁设置除静电装置，去除成形后的ΙΤ0薄膜表面的电荷。作为一种优选方案，在放料辊与溅射主辊之间还设有用于增加基材张力的放卷导辊，所述放卷导辊设于放卷辊与张力摆辊之间，放卷时，所述基材先后经过放卷导辊的外侦牝张力摆辊的内侧，展平辊的内侧后到达溅射主辊。作为一种优选方案，所述溅射主辊与地线连接，使溅射主辊上的电荷通过地线流向大地。作为一种优选方案，所述展平辊的表面光滑，并且从中间向两边设有对称螺纹。作为一种优选方案，在收卷辊与溅射主辊之间设有用于增加成形后的ΙΤ0薄膜张力的收卷导辊，所述收卷导辊包括第一收卷导辊和第二收卷导辊，所述基材收卷时先经过第二收卷导辊的内侧，然后经过第一收卷导辊的外侧后到达收卷辊。作为一种优选方案，所述第二收卷导辊与地线连接，使成形后的ΙΤ0薄膜表面的部分电荷通过地线流走。—种防止热损伤的ΙΤ0薄膜制造装置，包括真空腔室，以及设置于真空腔室内的放料辊、收卷辊、溅射主辊、靶材，所述放料辊和收卷辊分别位于真空腔室内两侧，所述溅射主辊处于放料辊与收卷辊之间的下方，所述靶材设于真空腔室的下方；所述溅射主辊内部设有水循环系统，所述放料辊与溅射主辊之间设有使基材保持展平状态的张力摆辊和展平辊，所述收卷辊旁设置有用于除去收卷辊上的ΙΤ0薄膜表面的静电的除静电装置。作为一种优选方案，所述放料辊与溅射主辊之间还设有放卷导辊，所述放卷导辊设于放卷辊与张力摆辊之间；放卷时，所述基材先后经过放卷导辊的外侧，张力摆辊的内侦牝展平辊的内侧后到达溅射主辊。作为一种优选方案，所述收卷辊与溅射主辊之间设有用于增加成形后的ΙΤ0薄膜张力的收卷导辊，所述收卷导辊包括第一收卷导辊和第二收卷导辊；收卷时，所述基材先后经过第二收卷导辊的内侧，第一收卷导辊的外侧后到达收卷辊。作为一种优选方案，所述溅射主辊和第二收卷导辊均与地线连接。本专利技术与现有技术相比具有明显的优点和有益效果，具体而言:1、通过设置张力摆辊和展平辊，可以使得在成膜过程中基材表面张力保持稳定，同时保持展平状态，能够与溅射主辊完全接触，避免了因温度过高而导致薄膜基材产生变形和褶皱等热损伤现象；2、在溅射主辊内部设置水循环系统，可以通过水循环将溅射主辊以及真空腔室内的热量带出，降低了溅射主辊以及真空腔室的温度，减少了薄膜基材因温度过高而造成热损伤的情况；3、使溅射主辊与地线相连接，降低基材表面的电荷密度，避免了因电荷量较多而造成的热量增加的情况，减少了 ΙΤ0薄膜的热损伤；4、通过使第二收料导辊与地线相连接、在收卷辊旁设置除静电装置，除去ΙΤ0薄膜表面的电荷，避免了开箱后因静电对人的电击和收卷后膜层之间的电晕纹，使得ΙΤ0薄膜的生产过程更加安全，生产的ΙΤ0薄膜质量更高。为更清楚地阐述本专利技术的结构特征、技术手段及其所达到的具体目的和功能，下面结合附图与具体实施例来对本专利技术作进一步详细说明:【附图说明】图1是本专利技术之制造装置结构示意图。附图标识说明:1-放卷导辊，2-基材，3-第二收卷导辊，4-第一收卷导辊，5-靶材，6-放料辊，7-真空腔室，8-溅射主辊，9-张力摆辊，10-展平辊，11-除静电装置，12-收卷辊。【具体实施方式】如图1所示，一种防止热损伤的ΙΤ0薄膜制造装置，包括真空腔室10，以及设置于真空腔室10内的放料辊6、收卷辊12、溅射主辊9、靶材5，所述放料辊6和收卷辊12分别位于真空腔室10内两侧，所述溅射主辊9处于放料辊6与收卷辊12之间的下方，并且与地线相接。所述靶材5设于真空腔室10的下方；所述溅射主辊9内部设有水循环系统，所述放料辊6与溅射主辊9之间当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种防止热损伤的ITO薄膜制造方法，包括基材，所述基材在真空腔室内从放料辊出发，绕过溅射主辊，在溅射主辊处经靶材溅射形成ITO薄膜，最后到达收卷辊收卷，其特征在于：在基材到达溅射主辊前，使用展平辊和张力摆辊使基材保持展平状态，以便基材与溅射主辊表面完全接触；在溅射主辊内部设置水循环系统，通过水循环带走溅射主辊上的部分热量，降低溅射主辊表面温度；在收卷辊旁设置除静电装置，去除成形后的ITO薄膜表面的电荷。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：由龙，黄振革，
申请(专利权)人：山东金鼎电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37
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