【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及ΙΤ0薄膜生产
，特别涉及一种防止热损伤的ΙΤ0薄膜制造方法及其制造装置。
技术介绍
因为ΙΤ0薄膜具有良好的透明性与导电性，同时还具有良好的刻蚀性，因而被大量运用于平面液晶显示(IXD)，电致发光显示(ELD)，电致色彩显示(E⑶)等。随着近几年来，国内液晶显示器产业的大力发展，对ΙΤ0产品的需求量增大的同时，对产品的质量有了新的要求。现存的ΙΤ0薄膜生产工艺中，特别是在溅射成膜的时候，粒子碰撞会产生很大的电荷，随着溅射生产时间的增加，薄膜基材表面的电荷密度不断增大，并与薄膜基材表面接触的溅射主辊形成通路，使得溅射主辊以及薄膜基材的温度上升，导致膜损伤。同时，在高能粒子和等离子体的环境下，带电粒子入射，大量的电流流动，造成电流热效应的热量很大，薄膜基材在被高温加热的情况下，薄膜基材会产生变形和褶皱等热损伤现象，造成ΙΤ0薄膜的成品率不稳定。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术存在之缺，其目的在于提供一种防止热损伤的ΙΤ0薄膜制造方法及其制造装置，其可有去除ΙΤ0薄膜表面电量，降低成膜环境的温度，减轻ΙΤ0薄膜的热损伤。为达上述目的...
【技术保护点】
一种防止热损伤的ITO薄膜制造方法，包括基材，所述基材在真空腔室内从放料辊出发，绕过溅射主辊，在溅射主辊处经靶材溅射形成ITO薄膜，最后到达收卷辊收卷，其特征在于：在基材到达溅射主辊前，使用展平辊和张力摆辊使基材保持展平状态，以便基材与溅射主辊表面完全接触；在溅射主辊内部设置水循环系统，通过水循环带走溅射主辊上的部分热量，降低溅射主辊表面温度；在收卷辊旁设置除静电装置，去除成形后的ITO薄膜表面的电荷。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：由龙，黄振革，
申请(专利权)人：山东金鼎电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37
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