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本发明公开一种防止热损伤的ITO薄膜制造方法及其制造装置，包括基材，所述基材在真空腔室内从放料辊出发，绕过溅射主辊，在溅射主辊处经靶材溅射形成ITO薄膜，最后到达收卷辊收卷。本发明在现有技术的基础上通过增加张力摆辊和展平辊展平基材，使基材与...
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