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本发明系提供一种薄膜沈积设备腔体冷却水加热装置，通过真空汞产生的热源藉由冷却水带走，间接加热冷却水使冷却水维持一定的温度回流至储水槽，而储水槽设有温度计及液位传感器，若温度超过设定温度则打开电磁阀使部分冷却水流至储水槽冷却储水槽温度其保持一...
该专利属于吉富新能源科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉富新能源科技(上海)有限公司授权不得商用。

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