涂覆的X-射线窗口制造技术

一种X-射线窗口包括主窗口元件（22）和辅助窗口元件（70）。为了通过电阻加热蒸发碎片，电流流过辅助（上游）窗口元件。同时，由电子照射和/或沉积的带电粒子引起的电荷将被从窗口元件排出。为了防止大的碎片粒子短路窗口元件，并改变所希望的加热模式，用于加热窗口元件的电流流过与电荷漏层（76）绝缘的层（72）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本文所公开的专利技术一般涉及电子碰撞的X-射线源的安装。更具体地，本专利技术涉及适于作为用于包括液体喷射阳极的X-射线产生布置的真空外壳的一部分的X-射线窗口。
技术介绍
在此通过引用并入本文的公布为W02010/083854的共同未决的国际申请公开了用于将大气压力与真空分离同时让X-射线辐射通过的自清洁的窗口布置。窗口布置具有用于清洁面向真空的内表面的加热装置，以蒸发操作过程中的污染物。特别地，窗口可以清除来自液体喷射阳极的飞溅物、液滴和沉积雾。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提出一种对污染具有改进的鲁棒性的X-射线窗口。本专利技术的特定目的是提出一种具有鲁棒的自加热功能的X-射线窗口。一种用于将环境压力区域与减压区域分开的X-射线窗口，包括: 对X-射线透明的主窗口元件，所述主窗口元件将所述环境压力区域与中间区域分开； 辅助窗口元件，所述辅助窗口元件将所述中间区域与所述减压区域分开，且具有面向所述减压区域用于在其上接收沉积的污染物的侧面；及 加热装置，所述加热装置用于在所述辅助窗口元件的区域之间施加电压，从而蒸发沉积在其上的污染物。这样的窗口可以设置在X-射线源的真空或接近本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：奥斯卡·汉伯格，汤米·图希玛，
申请(专利权)人：伊克斯拉姆公司，
类型：
国别省市：